SiC 에피택시 | 높은 균일성, 낮은 결함 | 파워 웨이퍼텍

SiC 웨이퍼

SiC 에피택시

SiC 에피택셜 웨이퍼는 CVD로 성장하여 우수한 두께 균일성과 낮은 결함 밀도를 제공합니다. 600V에서 10kV 전력 장치(SBD, MOSFET, IGBT)를 위해 설계되어 EV, 산업용 주행, 재생 에너지 분야의 고성능 응용을 가능하게 합니다.
  • 폴리타입 — 4H-SiC (동등에피택시) · 3C-SiC (동종 및 이종 에피택시)
  • 전도도 — N형, P형, 반절연형
  • 직경 — 2″, 4″, 6″, 8″
  • 두께 범위 — 0.5 – 200μm (커스터마이징 가능)
  • 구조 — 맞춤형 다층, 버퍼 층, 정밀 도핑 프로파일
상세 사양

웨이퍼 종류별 사양.

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매개변수 4H-SiC 에피택시
기질
직경 2", 4", 6", 8"
방향 축 방향, 축 쪽
전도도 N형 P형 반절연
저항률 0.015 – 0.028 Ω·cm ≤0.3Ω·cm > 1E8 Ω·cm
표면 거칠기 ≤ 0.2nm
MPD ≤ 1cm⁻²
에피 층
전도도 N형 P형 반절연
두께 범위 0.5 ~ 200μm (커스터마이징 가능)
두께 균일성 ≤ 10% ≤10% ≤10%
운반체 농도 1E14 ~ 1E19 cm⁻³ 1E14 ~ 1E19 cm⁻³ 1E14 ~ 1E19 cm⁻³
캐리어 균일성 ≤ 20% ≤ 20% ≤20%
응용 분야

이 웨이퍼가 가치를 제공하는 곳

01

전기차 및 고속 충전

전기차 파워트레인과 고속 충전 시스템을 위한 고전압 및 저저항 에피 레이어. 650V-1700V SiC MOSFET과 JBS 다이오드에 최적화되었으며, ≤4%의 높은 두께 균일성과 정밀한 도핑 프로파일을 특징으로 합니다.

02

산업 및 재생 에너지

혹독한 환경에서의 에너지 변환과 중장비에 적합한 신뢰할 수 있는 에피 웨이퍼입니다. 태양광 인버터, 에너지 저장 및 철도 교통 시스템에서 고출력 SiC MOSFET, SBD, 1200V+ 전원 모듈을 위해 설계되었습니다.

03

AI 데이터 센터 파워

고밀도 서버 전원 공급 장치(PSU)를 위한 초저 스위칭 손실 에피 계층 구현 가능. 트렌치 MOSFET 및 고효율 정류기에 맞춰져 낮은 BPD와 최소한의 표면 거칠기를 제공하여 최대 전력 효율을 제공합니다.

04

초고전압 (그리드 및 ESS)

차세대 스마트 그리드 및 에너지 저장 시스템(ESS)을 위한 두꺼운 에피택셜 레이어. 10kV+ IGBT, GTO, PN 접합부를 지원하며, 30μm에서 200μm까지 다양한 두께의 에피 역량을 지원합니다.

자주 묻는 질문

이 제품에 대한 흔한 질문들

재료 선택, 맞춤화, 테스트 및 주문에 대한 빠른 답변.

표준 4H-SiC 호모에피택시에서는 운반체 농도를 약 1×10¹⁴에서 1×10¹⁹ cm⁻³ 사이에서 제어할 수 있습니다. 이는 전도도 유형(N형 또는 P형)과 구체적인 에피네프 설계에 따라 다릅니다.

표준 4H-SiC 동등에피택시에서는 두께 균일성을 약 ≤10%까지 제어할 수 있습니다. 선택된 P형 SiC 에피 구조의 균일성은 ≤4%에 이를 수 있습니다. 실제 성능은 웨이퍼 크기, 에피 두께, 구조에 따라 달라집니다.

네. PWG는 버퍼 층, 전류 확산 층, 채널 층, 장벽층 등 소자별 구조를 포함한 맞춤형 다층 에피택셜 구조를 개발할 수 있습니다.

네. 저희는 초고전압 응용(최대 10kV+)을 위해 두께 30–200 μm 두께의 SiC 에피택셜 층을 제공합니다. 두께, 도핑 농도, 균일성은 목표 붕괴 전압에 따라 최적화됩니다.

우리는 기저면 전위(BPD)와 스태킹 고장(SF)을 최소화하기 위해 엄격한 에피소 프로세스 통제를 시행합니다. 일반적인 결함 밀도는 높은 장치 수율과 신뢰성을 보장하기 위해 업계 최고 수준으로 유지됩니다. 전체 지도 데이터는 요청 시 제공됩니다.

기술 조사

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엔지니어링 주도 대응

문의는 적절한 기술 또는 상업 팀으로 전달됩니다.

주소

중국 푸젠성 샤먼 통안, 련화 산업단지 1389번지, 우편번호 361100

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이메일victorchan@powerwafertech.com 전화+86-592-5633652